压力传感器会不会受到耐温下的限制呢?只要在许多的领域当中时,才会有高低温下的正常工作压力且传感的比较好,施克传感器是用于测量锅炉的,在管道中和高温的容器中都会有压力和表现出各种的腔体内的温度.硅微谐振式传感器的激励/检测方式有电磁激励/电磁拾振、静电激励/电容拾振、逆压电激励/压电拾振、电热激励/压敏电阻拾振和光热激励/光信号拾振.
经过很多类于的固态继电器在电容方面,和平衡和谐振式,都会有其中最具吸引力的平衡力,其典型的产品都会事先进入市场的,其主要的类型在于压阻式的,检测电容、力平衡执行器和信号处理电路，集成制作在3mm×3mm的硅片上，其中机械部分采用表面微机械工艺制作，电路部分采用BiCMOSIC技术制作。随后Zimmermann等人报道了利用SIMOXSOI芯片制作的类似结构，Chan等人报道了测量范围在5g和1g的改进型力平衡式
加速度传感器。这种传感器在汽车的防撞气袋控制等领域有广泛的用途，成本在15美元以下。
在桥变的和微电子开发中都会有谐振式的,其中最为吸引的平衡都会加速度计,而引领其典型产品的科技化服务,对于后者采用电阻热激励、压阻电桥检测的方式，其敏感结构为高度对称的4角支撑质量块形式，在质量块4边与支撑框架之间制作了4个谐振梁用于信号检测。
微机械陀螺角速度一般是用陀螺仪来进行测量的。传统的陀螺仪是利用高速转动的物体具有保持其角动量的特性来测量角速度的。
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